寺伝に開基は願誉という。播州（兵庫県）明石の産。10歳にして出家し、33才のとき、本尊阿弥陀如来を負うて黒川村手水川上流の山中にいたり。石上に如来を安置し、念仏に専念した。2世覚誉良円の代に、法性山願行寺と寺号を改め、貞享3年、3世法誉智源の代に現在地に移転した。境内には榧の巨木に木食五行上人が彫った薬師如来、本堂には如意輪観世音立木像・阿弥陀如来立木像があり現在村の文化財になっている。